技术规格
| Material | Size | Flatness（um） | Parallelism（um） | |||
| L*W（mm） | Tolerance（mm） | Thickness（mm） | Front | Back | ||
| Soda/Fused Silica | 3006（76*76） | ±0.2 | 1.5±0.1 | <5 | <5 | <5 |
| Soda/Fused Silica | 4006（101.4*101.4） | ±0.2 | 1.5±0.1 |
<5 | <5 | <5 |
| Soda/Fused Silica | 4009（101.4*101.4） | ±0.2 | 2.3±0.1 | <5 | <5 | <5 |
| Soda/Fused Silica | 5006（127*127） | ±0.2 | 1.5±0.1 | <5 | <5 | <5 |
| Soda/Fused Silica | 5009（127*127） | ±0.2 | 2.3±0.1 | <5 | <5 | <5 |
| Soda/Fused Silica | 6009（152*152） | ±0.2 | 2.3±0.1 | <10 | <10 | <10 |
| Soda/Fused Silica | 6025（152*152） | ±0.2 | 6.35±0.1 | <10 | <10 | <10 |
| Soda/Fused Silica | 7009（177.6*177.6） | ±0.2 | 2.3±0.1 | <10 | <10 | <10 |
| Soda/Fused Silica | 7012（177.6*177.6） | ±0.2 | 3.05±0.1 | <10 | <10 | <10 |
| Soda/Fused Silica | 8012（203*203） | ±0.2 | 3.05±0.1 | <10 | <10 | <10 |
| Soda/Fused Silica | 9012（228.6*228.6） | ±0.2 | 3.05±0.1 | <10 | <10 | <10 |
