| 机械性能 Mechanical property | |
| 项目Item | 值Value |
| 密度ρ (25 °C) Density | 2.2g/cm3 |
| 泊松比 Poisson's ratio | 1.1 |
| 弯曲强度 Vickers hardness | 55 |
| 热学性能 Thermal property | |
| 项目Item | 值Value |
| 线性热膨胀系数 Thermal Expansion |
5.5*10-7 |
| 应变点 Strain Point (°C) |
1700 |
| 退火点 Anneal Point |
1060 |
| Diameter | 2inch | 3inch | 4inch | 5inch | 6inch | 8inch | 12inch |
| Thickness (um) | Depends on Request | ||||||
| Material | SK1300 | ||||||
| Grade/Brand | 小原Ohara® | ||||||
| Surface Finished | DSP、SSP、DSL | ||||||
| TTV (um) | ＜5 | ＜5 | ＜5 | ＜5 | ＜5 | ＜10 | ＜15 |
| Bow/Warp (um) | ＜20 | ＜20 | ＜30 | ＜30 | ＜30 | ＜40 | ＜60 |
| Ra (nm) | ＜1 | ||||||
| S/D (um) | 40/20 | ||||||
| 特殊指标： 超平玻璃（Ultra-flat glass wafer） TTV＜1um 超薄玻璃（Ultra-thin glass wafer） Thickness：0.1-0.3um 超光滑玻璃（Ultra-smooth glass wafer ）Ra≤0.2nm |
|||||||
